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No.1
ファイン事業[半導體材料]
ArFフォトレジスト

半導體製造工程のなかで、微細な素子形成や配線加工にはフォトリソグラフィ技術が使用されています。その時に用いられるマテリアルがフォトレジストです。シリコンウエハ上に塗布して、レーザー光で露光することにより、露光部と未露光部との現像液への溶解速度差を利用して微細なパターンを形成することが出來ます。高感度汎用品から超高解像度品まで、g線、i線、KrF、ArFなどの様々な波長の光源に対応した、高性能なフォトレジストをJSRは取り揃えています。現在、JSRはこれらの製品においてグローバルシェアNo.1クラス。世界中の半導體製造には、JSRのフォトレジストが幅広く使用されているのです。


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ファイン事業[半導體材料]
ArF液浸用トップコート(TCX)

より高精細化?高集積化を目指し、半導體製造のフォトリソグラフィ工程において導入が進んでいるのが液浸露光です。これは、水の高い屈折率という特性を利用した技術で、レンズとシリコンウエハの間を純水で満たし、より微細な加工を実現しようというもの。この工程で使用されるコート材料において、グローバルシェアNo.1の製品が「ArF液浸用トップコート(TCX)」です。フォトレジストと純水の間にトップコート層を加えることで、フォトレジストの水への滲出を抑え、レンズの汚れを防止します。


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ファイン事業[半導體材料]
低溫硬化絶縁膜

LSI最上層の配線を保護し、配線間の絶縁の役割を擔う感光性の材料です。半導體デバイスの有機パッシベーション、バッファーコート材料として適しており、WL-CSP(ウエハーレベルチップサイズパッケージ)、SiP(システムインパッケージ)の再配線層やオーバーコートとして多く使用されています。解像度が良く、幅広い條件で使用可能であり、めっき工程にも適しているこのマテリアルもグローバルシェアNo.1です。


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ファイン事業[ディスプレイ材料]
配向膜

液晶の層を上下で挾む材料で、液晶分子を一定方向に並べる役割を擔います。非常に薄い膜ですが、液晶パネルの表示性能を左右する重要な素材です。液晶分子の並べ方は進化が著しい分野ではありますが、JSRは常に最新の技術に対応した配向膜の開発を継続しており、長きに亙ってグローバルシェアNo.1をキープしています。


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ファイン事業[ディスプレイ材料]
感光性スペーサー

液晶パネルを構成するガラス基板の間隔を一定に保つ材料が感光性スペーサーです。従來型のスペーサーである「ビーズ狀」のものと比較すると、思い通りの位置に配置できる點や、動かないことで高い性能が得られます。現在、高畫質が求められる液晶テレビや高機能液晶モニターに使用されており、JSRの感光性スペーサーはグローバルで、業界標準として採用されています。